半导体业重视EHS成趋势

出自：中国电子报、电子信息产业网

如果半导体、面板、印刷电路板等企业对环境保护、工业安全缺乏足够重视，各家生产线所产生的废弃物将对外围自然环境造成难以挽回的负面影响，工业安全意外也将在自家厂房内频繁发生。这正是EHS(环境、健康、安全)管理体系日渐受到相关企业重视的主要原因。

　　创新打造绿色产业链

　　半导体制程极为繁复，多达数百道工序，每个步骤的制程设备若在设计时，便考虑到能源和原料节省，以及减少排放的废料，将会比起产生出废气和废水后再处理，更能提高环保效率。这也是为什么需要产业链上下游整体共同进行规划，从生产兼顾环保，走向绿色制程，提高绿色竞争力。记者采访中发现，作为国内半导体制造业巨头之一，中芯国际在打造绿色产业链方面做出了许多有益的尝试，将环境保护和安全延伸到设备设计和制程规划阶段，同时对供应链也设立同等环境质量安全标准，比如北京厂B2 FAB的整个建设都遵循LEED认证过程。

　　中芯国际还一直致力于通过创新手段来促进节能环保及清洁生产。在半导体生产企业中，制冷机系统大多采用敞开式运行，产生了大量的余热。而由于芯片生产中，又需要用到纯水清洗，需要花费大量的蒸汽来加热自来水。中芯国际自主研发了一套冰机热回收系统，在冰机背后设置了一块类似于挡热板的装置，而这块“板”不但能挡住余热的流出，还能吸收余热，用来加热自来水。这套装置能将自来水从10℃加热到22℃，每年可节省市政蒸汽2.32万吨，折合标煤1994吨。该技术已经获得国家专利。

　　中芯国际十分重视生产工业安全，公司ESH部门制定并实施了“SMIC环境保护暨安全卫生政策”，强调“预防环境污染、善用资源能源、保护人力资源和防范事故损失”，并通过厂区责任和评分制使中芯国际在过去的3年里百人可记录工伤率持续降低。在2013年，百人可记录工伤率降低到0.01，已经低于同行业的最高标准。

　　重视EHS成趋势

　　重视EHS管理体系是半导体产业的未来趋势。中芯国际CEO邱慈云对记者表示：“我们在生产和运营中必须时刻把我们的社区、环境、后代考虑进去。我们绝对不会把损害环境和危害安全作为追求利润的代价。”

　　面对北京水资源严重缺乏的现状，中芯国际在公司筹备初期就将水资源回收与节能等先进的设计理念融于全厂的规划设计中。根据厂区实际状况规划了雨水回收系统，用于收集建筑屋顶与路面的雨水，并将过滤处理后的雨水重新用于绿地的灌溉。中芯国际公司的雨水回收系统于2004年7月投入使用以来，厂区绿地灌溉用水得到节约，截至目前，该系统共收集到9.7万吨雨水。另外，2012年北京厂通过自然冷却系统，利用冬天室外冷空气进行冷热交换，4个月内共节约电力561万千瓦时;2013年天津厂节约电力351万千瓦时。